Проекты

В производстве полупроводников даже крайне малые количества металлических ионов, частиц или органических загрязнений могут иметь катастрофические последствия. Эти примеси могут изменить пути переноса электронов внутри кристалла, повысить сопротивление и привести к чрезмерному тепловыделению и снижению производительности. Примеси также могут вызывать короткие замыкания и другие проблемы, выводя кристалл из строя. Согласно соответствующим исследованиям, потери выхода годных изделий из-за проблем с чистотой химических реагентов в процессе производства кристаллов могут достигать 20–30%, что, несомненно, представляет собой серьёзную проблему для полупроводниковой промышленности, стремящейся к высокой точности и производительности.

Ключевая роль в этом принадлежит насосам с магнитным приводом.

Насосы с магнитным приводом обеспечивают непрерывность транспортировки химических реагентов на протяжении всего процесса производства полупроводников. Их непрерывная и стабильная работа обеспечивает своевременную подачу химических реагентов, необходимых для различных процессов, предотвращая простои производства из-за перебоев с подачей реагентов. Например, в процессе осаждения плёнок необходимо непрерывно подавать в реакционную камеру определённые газы и жидкие химические реагенты. Стабильная работа химического насоса обеспечивает непрерывность процесса осаждения, обеспечивая равномерность роста плёнки и гарантируя электротехнические свойства и надёжность кристалла.

Будучи типом химического насоса, широко используемым в полупроводниковой промышленности, насос с магнитным приводом отличается уникальной конструкцией без механических уплотнений. Для передачи мощности используется магнитная муфта, а вал насоса и вал двигателя взаимодействуют друг с другом посредством магнитных сил, без необходимости использования традиционных механических уплотнений. Эта полностью герметичная конструкция подобна прочной «защитной броне» для химических реагентов, принципиально исключая возможность утечки среды. В процессе производства полупроводников даже мельчайшие утечки могут привести к серьёзным проблемам загрязнения, и появление магнитных насосов идеально решает эту скрытую опасность. В процессе транспортировки фоторезиста магнитный насос обеспечивает его стабильную подачу в закрытом трубопроводе без утечек, что гарантирует высокую чистоту фоторезиста. При транспортировке высокочистой плавиковой кислоты электронного класса полная герметичность магнитного насоса эффективно исключает контакт плавиковой кислоты с наружным воздухом, предотвращает улетучивание плавиковой кислоты и возможный вред окружающей среде и персоналу в результате утечек, а также гарантирует сохранность чистоты плавиковой кислоты, предоставляя надежную гарантию для последующих процессов травления.